反射镜

高阈值介质膜反射镜和金属铝反射镜

激光高反射镜使用熔融石英或BK7作为基板。设计角度为0°或45°,覆盖可见光和近红外主要激光波长。具有损伤阈值高、反射率高等特点,尺寸可定制。

金属铝反射镜具有高反射率、耐摩擦、牢固性好等特性;可以满足条码扫描器,投影设备等应用。

  • 高损伤阈值介质膜反射镜
  • 激光反射镜与激光分色片专为高功率激光场景设计,采用离子辅助镀膜(IAD)工艺与优质基底,具备高反射率、高损伤阈值、耐高温、抗磨损等优势,可适配kW级高功率激光长期稳定工作,是激光系统的核心配套元件。
  • 1.核心工艺:滤光片产品采用离子辅助/磁控溅射镀膜工艺,膜层致密、硬度高、附着力强,耐刮擦、抗湿热,高端产品的波长定位精度可达±0.5-1nm,结合高精度膜系设计能力,打造差异化竞争优势,滤光片产品具备高可靠性、高稳定性特点,适应户外、车载等恶劣工作环境,有效延长产品使用寿命。
  • 离子辅助镀膜工艺是在真空物理气相沉积过程中,引入高能离子束同步轰击正在生长的薄膜表面,通过高能离子和蒸发原子、分子的碰撞能量传递,实现调控膜层微观结构与成分,核心优势在于通过对膜层沉积参数与离子辅助参数的独立准确控制,显著提升膜层致密度、附着力与光学 、 机械性能。
  • 离子辅助镀膜设备介绍

  • 磁控溅射镀膜工艺是高精度、高致密、低缺陷的高端物理气相沉积技术,通过离子源与靶材完全分离的设计,实现沉积参数的独立精确控制,是目前高端的膜层质量与均匀性镀膜技术。

  • 磁控溅射镀膜设备介绍
  • 2.介质膜激光反射镜技术参数(典型)
  • 工作波长:400–1700nm(常用532nm、1064nm、1550nm);
  • 反射率:≥99.5–99.9%(目标波长);
  • 损伤阈值:≥10–50J/cm²(10ns,1064nm),适配高功率激光;
  • 基底材质:熔融石英(高功率场景)、K9玻璃(常规场景);面形精度可达λ/4–λ/10@633nm。
  • 面形精度:λ/4–λ/10@633nm,表面质量60/40(划痕/麻点)标准。
  • 高精度光学元件加工
  • 3.应用场景
  • 激光加工设备:激光切割、焊接、打标等场景;激光实验系统;激光雷达等。
  • 金属铝反射镜
  • 金属铝反射镜是应用最广的金属膜反射镜 —— 铝膜从紫外到红外都有可用反射率、成本低、工艺成熟;但裸铝膜软、易氧化,通常需加保护层(MgF₂/SiO₂)或增强膜。可见光反射率一般为 85%~95%。
  • 1.玻璃基片:K9/石英/微晶玻璃,面形精度 λ/4~λ/20,粗糙度RMS 0.5~2 nm
  • 2.铝膜沉积工艺:电子束/电阻蒸发、磁控溅射;铝纯度 ≥99.99%(4N)。
  • 3.保护层设计MgF₂、SiO、SiO₂、Al₂O₃防氧化、防潮、防划伤;也可采用多层介质增强反射率。
  • 4.应用场景:天文/空间:望远镜、卫星相机、太阳镜; 激光:谐振腔、扫描振镜、导光系统; 显示:DLP、激光电视、HUD、AR; 半导体:光刻照明、晶圆检测; 工业/民用:LED、车灯、激光雷达、聚光; 科研:光谱仪、干涉仪、飞秒系统
  • 5.环境适应性与破坏性试验:高低温、温度循环/冲击、湿热、盐雾。
  • 高精度光学元件加工
  • 北京微光远航科技有限公司(Maxoptics.cn)是一家位于中国北京的专业光学滤光片制造商。公司生产和销售各种光学滤光片、激光元件、透镜和棱镜。光学滤光片类型包括带通滤光片、干涉截止滤光片、光分束器、二向色镜、陷波滤光片和中性密度滤光片等;光谱范围涵盖紫外、可见光、近红外以及中远红外。
  • 采用离子辅助沉积、磁控溅射涂层技术制备的高功率激光元件,具有高损伤阈值,包括激光窗口、反射镜、激光分束器、激光线性滤光片、激光分色滤光片和激光偏振滤光片。